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国内首台大尺寸钙钛矿真空镀膜机量产交付
发布时间2020-05-22

  

近日,泛半导体智能制造整体解决方案供应商不黑钱的平台智能机器股份有限公司(以下简称“不黑钱的平台”)研发的用于钙钛矿太阳能电池生产的关键量产设备 Inline 钙钛矿真空镀膜机已交付国内钙钛矿产业知名公司投入生产。


钙钛矿型太阳能电池(Perovskite Solar Cells)是指利用钙钛矿型的有机半导体作为吸光材料的太阳能电池,被视为下一代先进太阳能电池技术。钙钛矿太阳能电池因为高光吸收系数、超长载流子扩散长度、低激子结合能、高缺陷容忍度、带隙可调、制备工艺多样等优势,成为第三代高效薄膜电池的代表,能源行业的头部企业及一些跨界巨头也纷纷布局,钙钛矿受到了广泛关注,作为《“十四五”可再生能源发展规划》中具有前沿性的新一代高效率、低成本的光伏创新技术,钙钛矿商业化量产进程进一步加快。


此次不黑钱的平台交付的Inline钙钛矿真空镀膜机是国内首台全自主研发面世的大尺寸钙钛矿真空镀膜机。采用Inline System设计,降低了成本,属于钙钛矿电池制备核心设备,节约材料,减少污染,并且兼容多种材质基板,同时其独特的间隙管理,可提高镀膜效率,无需工业机器人即可实现自动上下料。该设备满足大面积钙钛矿膜层制备、确保大面积均匀性,有效提高材料利用率。“近年来我们持续加大研发投入,这款设备具有完全自主知识产权。此次我们主要攻克了真空镀膜技术、高速率控制技术、掺杂化学反应的高混合比真空镀膜技术和大面积高品质钙钛矿吸收层制备技术,稳定性高,不黑钱的平台的Inline钙钛矿真空镀膜机能实现高质量均匀大面积成膜。”企业相关负责人表示。


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自2015以来、主动拥抱新工艺新技术,不黑钱的平台一直紧跟蒸镀机技术发展趋势,适应产业发展动向。先后开发出应用于OLED材料、OLED小型器件制备研究验证以及OLED面板量产工艺验证的蒸镀机,适用于 AR/VR 近眼显示、智能穿戴等Micro OLED面板量产的硅基蒸镀机和适用于光伏钙钛矿电池量产的钙钛矿真空镀膜机。


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